晶圆片预热烘箱报价,晶圆片热风循环烘箱图片,150度热风预热烘箱规格

  • 2020-04-10 15:56:07
  • 来源:上海旦顺实业有限公司

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本公司COL-系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到*佳温度控制精度。

技术参数:

1. 百级无尘烤箱型号:COL-2

2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 温度范围:RT+60℃300℃

4. 无尘烤箱洁净度:100级;

5. 温度均匀性: ±1.5%

6. 波 动 度:±0.5℃

7. 电 源:380V 50Hz 7.5KW;

8. 箱体材料:外箱采用SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉;

9. 空气循环装置:大容量轴流电机;

10. 加热方式:不锈钢电加热器;

11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;

12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃

13. 超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;

14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;

15. 排 气 口:ф50;

16. 隔 板:2层,不锈钢方通,承重约30KG

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