(氯化物)AirSentry®II电子迁移率光谱仪

  • 2023-02-18 18:05:34
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AirSentry® II 电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染(AMC),在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。AirSentry® II电子迁移率光谱仪具有ppt级的灵敏度,传感器反应迅速、监测选择性广、性能稳定。Air Sentry II传感器配有中央控制软件,可以轻松地采集分析数据。Air Sentry II传感器提供连续可追溯的数据,来快速回应污染源和污染事件。

特点

酸类和基底(胺类、氨以及氯化物)的高灵敏度检测

使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置

体积小,可放在任何位置

以太网,RS-232, 4-20毫安输出

优点

连续监测关键点

耐久可靠的数据收集、控制、分析

长期数据稳定性

每份测试成本

应用

在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测

在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测

化学过滤器有效率的资格确认

遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除

前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析

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