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Energetiq生产的光源具有高可靠性，高性能，高亮度，长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围，谱线包括软远紫外线（EUV）,深紫外线（DUV）,并覆盖从可见光到红外光区（IR），波长范围从170nm到2100nm以上。Energetiq的光源结构紧凑，使用方便，性价比高的特点，宽谱线并带光纤耦合输出。
性能特性：高亮度 — 输出强度是75W Xe灯的10倍、30W氘灯的100倍以上 高稳定性 — 可比拟激光器的功率稳定性和空间稳定性宽光谱输出 — 170nm～2100nm，一个光源满足各种常用需求超长寿命 — 无电工作，单个灯泡寿命9000个小时，更低维护成本更高的耦合效率 — 光斑尺寸<100um，并提供光纤以及自由光输出选项
