(激光)微米尺度空间分辨率LIBS测试系统—MEEPLIBS

  • 2022-10-21 15:05:24
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微米尺度空间分辨率LIBS测试系统—MEEPLIBSMEEPLIBS可以在微米尺度上做空间分辨的元素分析,实现了与传统的显微镜实现*结合,标准分析口径大小为15微米和18微米(zui小可做到4微米),可在室温大气环境中测试,也可在特定的环境中测试。广泛应用于半导体材料、面板材料的微米尺度空间分辨率的实时元素分析。 系统特点:光源:266nm紫外激光光源具有配衰减器的激光光束整形功能,激光功率软件可调可实现探测系统的自动温控系统中配置摄像机,用户可实时观测测试的样品区域配置电动三维调节台用来校准激光聚焦位置、提高实验可重复性精度,可对样品进行序列测量能分析测量包括质量zui轻的所有元素无须样品预处理,快速检测

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